描述

产品描述

RPS AX7695 MKS远程等离子源

产品品名:MKS RPS AX7695远程等离子源

系列:RPS系列

作用:产生高密度、均匀的等离子体，用于材料改性、表面处理、薄膜沉积等多种应用。

RPS AX7695 MKS 远程等离子源

RPS AX7695 MKS 远程等离子源

用途:

半导体制造:晶圆清洗、刻蚀、沉积等

光伏制造:玻璃清洗、镀膜等

显示器制造:蚀刻、沉积等

其他:生物医学、航空航天、汽车制造等

特征:

高密度、均匀的等离子体

可控的等离子体参数

稳定的运行

易于维护

产品说明:

MKS RPS AX7695远程等离子源是一款高性能、高可靠性的远程等离子源，采用先进的射频(RF)技术和微波技术制造而成。它具有高密度、均匀的等离子体、可控的等离子体参数、稳定的运行、易于维护等特点，可广泛应用于半导体制造、光伏制造、显示器制造等多种领域。

产品描述:

MKS RPS AX7695远程等离子源由电源、匹配网络、等离子体腔体等组成。电源产生高频或微波能量，通过匹配网络传输到等离子体腔体。在等离子体腔体内，电磁场将气体激发成等离子体。等离子体通过等离子体出口射向目标表面，进行材料改性、表面处理、薄膜沉积等操作。

产品参数:

型号:RPS AX7695

频率:13.56 MHz

功率:2 kW

等离子体密度:>10^12 cm^-3

等离子体均匀性:<5%

产品规格:

尺寸:600 mm x 400 mm x 300 mm

重量:20 kg

应用领域:

MKS RPS AX7695远程等离子源广泛应用于以下领域:

半导体制造:晶圆清洗、刻蚀、沉积等

光伏制造:玻璃清洗、镀膜等

显示器制造:蚀刻、沉积等

其他:生物医学、航空航天、汽车制造等